SPPL聚丙烯膜CMP漿液過濾濾芯特征
沿濾液方向的梯度孔徑分布,保證拋光漿料的品質(zhì),并延長漿料的使用壽命。
所有濾芯兼容性極佳,無論是酸性還是堿性漿料,均可過濾。
漏斗狀的過濾結(jié)構(gòu),對可能造成晶片表面?zhèn)Φ膱F狀顆粒敏感。
為CMP流程提供嚴(yán)格的質(zhì)量保證。
去除漿料中的大粒徑離子及成團的異質(zhì)顆粒,提高晶片的成品率。
過濾面積大,高過濾效率。
熱熔法密封結(jié)構(gòu),密封性良好。
輝龍過濾的全面質(zhì)量管理體系保證濾芯品質(zhì)。
濾芯沿濾液方向的梯度孔徑分布結(jié)構(gòu),適合各種不同的拋光漿料,應(yīng)用范圍廣。
通用性好,適合各種標(biāo)準(zhǔn)或者類似的壓力容器過濾器。
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